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1.無油干式機械真空泵:是指泵能從大氣壓力下開始抽氣,又能將被抽氣體直接排到大氣中去,泵腔內無油或其他工作介質,而且泵的極限壓力與油封式真空泵同等量級或者接近的機械真空泵。
2.水環真空泵:水環真空泵內裝有帶固定葉片的偏心轉子,是將水(液體)拋向定子壁,水(液)成與定子同心的液環,液環與轉子葉片一起構成可變容積的一種旋轉變容積真空泵。
3.羅茨真空泵:是指泵內裝有兩個相反方向同步旋轉的葉形轉子,轉子間、轉子與泵殼內壁間有細小間隙而互不接觸的一種變容真空泵。
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